(一)核心功能氣體深度凈化:去除載氣(氮氣、氬氣、氫氣等)、反應氣中的水分、氧氣、二氧化碳、酸性 / 堿性氣體、粉塵、油霧等雜質,滿足 ICP-MS、GC-MS、半導體外延等高端實驗的超純氣體需求。
尾氣吸收:吸收化學反應產生的有毒、腐蝕性尾氣(氯氣、硫化氫、氯化氫等),實現無害化處理,保護實驗人員與環境。
緩沖防護:作為瓶,防止實驗裝置倒吸,保障實驗;同時可觀察氣體流量,輔助實驗調控。
氣體收集與計量:可用于收集純凈氣體,配合液位刻度實現氣體體積粗略計量。
(二)應用領域半導體與電子行業:超純電子氣體制備、晶圓制造工藝中的氣體凈化,杜絕雜質影響產品良率。
分析檢測領域:ICP-MS、GC-MS、AAS、同位素檢測等痕量分析實驗,避免器皿污染干擾檢測結果。
制藥與生物實驗室:無菌氣體制備、合成中的腐蝕性氣體處理,符合 GMP 潔凈要求。
化工與材料研發:特種氣體合成、腐蝕性氣體反應、高純材料制備中的氣體純化與尾氣處理。
環境監測:廢氣采樣前的氣體凈化,去除干擾雜質,保障監測數據準確。
