ITO靶材回收流程:
1. 收集廢靶材:收集來源:面板廠、鍍膜廠等使用ITO靶材的企業。
2. 表面處理/預處理 :清洗表面雜質、油污、物理去除殘留膜層
3. 靶材分離:機械切割或分解、分離金屬基板與ITO涂層
4. 濕法冶金回收:用酸(如硝酸、鹽酸等)溶解ITO層、萃取液中回收銦和錫元素
5. 純化與精煉 萃取、沉淀等精細化學手段,獲得高純度的銦、錫化合物
6. 再利用 提純后的銦、錫用于制備新ITO靶材或其他用途
從用過的ITO靶材中回收氧化銦的另一種方法是使用離子交換樹脂,離子交換樹脂用于選擇性地從酸性溶液中吸附銦,然后用酸性溶液將銦從樹脂中洗脫出來,并通過焙燒得到氧化銦。
隨著科技的飛速發展,ITO靶材的需求量持續增長。然而,ITO靶材的生產過程中需要消耗大量的銦資源,而銦是一種稀有的有色金屬,全球儲量有限。因此,ITO靶材的回收再利用不僅有助于節約資源,還能減少環境污染,實現可持續發展。
目前,市場上已有不少專業的ITO靶材回收企業,他們通過先進的回收技術和設備,將廢舊ITO靶材中的銦、錫等元素進行有效分離和提純,再加工成新的靶材產品,實現了資源的循環利用。

