ITO（氧化銦錫，Indium Tin Oxide）靶材廣泛應(yīng)用于液晶顯示器、觸摸屏、太陽(yáng)能電池等行業(yè)。隨著ITO靶材的廣泛使用，其回收再利用成為降低成本、減少資源浪費(fèi)、保護(hù)環(huán)境的重要環(huán)節(jié)。
ITO靶材回收的必要性
1. 資源稀缺：銦為稀有金屬，資源有限，價(jià)格昂貴。
2. 成本控制：回收廢舊ITO靶材可降低企業(yè)原材料采購(gòu)成本。
3. 環(huán)保要求：減少?gòu)U棄物排放，符合綠色生產(chǎn)理念。
ITO靶材主流回收技術(shù)：
機(jī)械物理分離：適合較厚靶層，回收效率高。
濕法化學(xué)回收：利用酸堿進(jìn)行溶解分離，適合大批量廢靶材。
熱處理工藝：部分回收方案采用高溫分離，能耗較大。
從電子廢物和廢ITO靶材等廢物來(lái)源中回收氧化銦是銦回收的一個(gè)重要方面。從這些廢源中回收氧化銦可以通過(guò)各種工藝實(shí)現(xiàn)，包括化學(xué)處理、溶劑萃取和離子交換，回收的氧化銦可用于生產(chǎn)各種半導(dǎo)體器件，從而減少對(duì)新銦資源的需求，并將銦開(kāi)采對(duì)環(huán)境的影響降至。
