無塵室溫濕度檢測前,潔凈空調系統應連續運行24H以上；根據溫度和相對濕度的波動范圍,應選擇足夠精度的測試儀表,并經過校驗標定合格；測點距地面0.8m,距外墻應大于0.5m,也可以根據恒溫區的大小,分別布置在離地面不同高度的幾個平面上；根據溫濕度波動范圍要求,檢測易連續進行8-48H,每次讀數間隔不大于30min；對有溫濕度波動要求的區域,測點應放在送,回風處或具有代表性的地點；對沒有恒溫要求的房間,溫度僅測房間中心一個點即可。
室內照度測定必須在室溫已趨穩定,光源輸出趨于穩定后進行,對熒光燈必須有100H；測點平面距地面0.85m,按間距1-2m布點,測點距墻面1m,其要求基本與潔凈度的測點位置要求相同；照度測定,一般測定除局部照明之外的照明；采用移動式照度計檢測。
噪聲檢測儀器為帶倍頻程分析儀的聲級計,一般情況下只檢測A聲級的數據,必要時測倍頻程聲壓級；檢測點布置,當面積≤50m2時,僅測房間中心一個點,當房間面積較大時,每增加50m2增加一個點,測點距地面1.2m；有條件時,易測量無塵室靜態工況的噪聲和無塵室的本底噪聲。