與傳統的臭氧中頻 (<1kHz) 電源不同，高頻高壓臭氧系統采用3-6kHz的高頻電源技術，結合微放電間隙設計可以有效提高臭氧生成的效率，減小發生器的體積和占地空間，從而減少土建設計及投資費用。逆變電源系統采用成熟的高頻電源技術，現場長期運行證明可以保證系統長期運行的穩定性。高頻輸出經升壓系統后產生正弦波高電壓，經電纜與發生器相連，在高頻高壓的作用下，放電間隙產生冷態等離子體放電生成臭氧。
臭氧的冷卻系統
雖然現代臭氧發生器的效率與傳統產品相比已經明顯提高，但有90%左右的電能不是用來生成臭氧而是轉變成熱量，如果這部分熱量得不到有效的散失，臭氧發生器放電間隙的溫度會持續升高甚至超過設計的運行溫度。高溫不利于臭氧的產生但利于臭氧的分解，導致臭氧產量和濃度下降。我們設計單循環冷卻水單元;當冷卻水溫度超過系統設計溫度或水量不足時，系統會自動發出報警信號。
臭氧的濃度
臭氧為混合氣體其濃度通常按質量比和體積比來表示。質量比是指單位體積內混合氣體中含有多少質量的臭氧，常用單位mg/L、mg/m3或g/m3等表示。體積比是指單位體積內臭氧所占的體積含量或百分比含量，使用百分比表示如2%、5%、12%等。衛生行業常用ppm表示臭氧濃度，即每立方臭氧混合氣體中臭氧占該體積的百萬分之一為1ppm。臭氧濃度是衡量臭氧發生器技術含量和性能的重要指標。同等的工況條件下臭氧輸出濃度越高其品質度就越高。