金屬四探頭電阻率方阻測試儀- HS-MPRT-5
本儀器用來測量硅晶塊、晶片電阻率及擴散層、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜、導(dǎo)電橡膠等材料方塊電阻的小型儀器.本儀器按照半導(dǎo)體材料電阻率的國際及國家標準測試方法有關(guān)規(guī)定設(shè)計。它主要由電器測量部份（主機）及四探頭組成，需要時可加配測試架。為減小體積，本儀器用同一塊數(shù)字表測量電流及阻率。樣品測試電流由高精寬的恒流源提供，隨時可進行校準，以確保電阻率測量的準確度。因此本儀器不僅可以用來分選材料也可以用來作產(chǎn)品檢測。對1～100Ω·cm標準樣片的測量偏差不超過±3%，在此范圍內(nèi)達到國家標準一級機的水平。
金屬四探頭電阻率方阻測試儀 - 產(chǎn)品特點■采用金屬探頭，游移率小，穩(wěn)定性高。■儀器采用220V交流電源供電■適用于西門子法、硅烷法等工藝生產(chǎn)原生多晶硅料的企業(yè)”■適用于物理提純生產(chǎn)多晶硅料生產(chǎn)企業(yè)■適用于光伏拉晶鑄錠及IC 半導(dǎo)體器件企業(yè)■具有抗強磁場和抗高頻設(shè)備的性能
金屬四探頭電阻率方阻測試儀 - 技術(shù)指標■電阻率：0.01～199.9Ω·cm■方塊電阻：0.1～1999Ω/口■直流數(shù)字電壓表測量范圍：0～199.9mv
靈敏度：100μv
準確度：0.2%（±2個字）■電源：AC 220V ± 10% ，50HZ■功耗：功耗≤10W ，平均功耗≈ 8W
金屬四探頭電阻率方阻測試儀 - 典型客戶江蘇、浙江、廣東、湖南湖北、內(nèi)蒙古、河南等地的CZ直拉單晶及鑄錠客戶。