常規(guī)供氣系統(tǒng)：
??1、特種氣體采用50L的鋼瓶供氣，并放置于特定的氣瓶柜中。
??2、配置全自動(dòng)的PLC控制器，彩色觸摸屏。
??3、面板采用壓力傳感器和氣動(dòng)閥門，自動(dòng)切換，自動(dòng)氮?dú)獯祾撸詣?dòng)真空輔助放空。
??4、VMB采用支路氣動(dòng)閥，氮?dú)獯祾撸婵蛰o助 去排空。
??5、惰性氣體多采用半自動(dòng)氣瓶架，繼電器控制，自動(dòng)切換，手動(dòng)吹掃，手動(dòng)放空。
??6、VMB主管氣動(dòng)閥，氮?dú)獯祾?/span>;支路氣動(dòng)閥，氮?dú)獯祾撸婵蛰o助排空。
??管道系統(tǒng)的設(shè)計(jì)
??1、材料的選擇：特氣管路系統(tǒng)普遍采用316L不銹鋼電解拋光(EP)管道，閥門一般采用高純調(diào)壓閥、隔膜閥、高精密過濾器、(<0.003微米)、VCR接頭等。接觸氣體的管路部件表面粗糙度可控制在5uin。對(duì)于某些高腐蝕性的氣體如CL2等，采用經(jīng)過特殊處理的耐腐蝕強(qiáng)的EP管。
??2、主管路系統(tǒng)設(shè)計(jì)：確認(rèn)好氣體房和用氣點(diǎn)后，主管路系統(tǒng)的管道線路設(shè)置應(yīng)線路短、拐彎少，布置美觀節(jié)省空間;為了控制流量，在氣源端可配置壓力變送器、溫控器、電子秤。
?特種氣體系統(tǒng)實(shí)驗(yàn)室施工管理
??施工管理和現(xiàn)場(chǎng)施工的幾個(gè)注意點(diǎn)
??1、氣管道采用小管道輸送，為了降低成本，管道采用直接用彎管器煨彎的方式，彎管器一般采用5-10倍的，但不小于5倍，所以要求施工人員需專業(yè)培訓(xùn)彎管方面的知識(shí)。
??2、每日檢查材料質(zhì)量，需做好檢查記錄，記錄表包括管工彎管的尺寸、質(zhì)量、是否有變形和劃傷現(xiàn)象。
??3、焊工在施工前應(yīng)注意先焊接試樣，確保焊接作業(yè)是否存在焊接隱患。
??4、電源變更的時(shí)候，需重新作試樣。試樣每次要記錄參數(shù)，方便下次對(duì)比查看。
??5、在焊接作業(yè)開始后不間斷充氣的方式，從施工開始到施工結(jié)束管道內(nèi)都要處于沖氣保護(hù)的狀態(tài)，不進(jìn)行焊接作業(yè)時(shí)應(yīng)當(dāng)調(diào)小管內(nèi)氣壓。
