本文參考了國內各充氣柜生產企業(yè)生產過程的實踐經驗，簡要的介紹了抽真空、N2干燥、充SF6氣體、檢漏、檢微水的整個過程；
步：抽真空
該過程的作用是將罐體（柜體）內空氣抽出，抽真空的目的是抽出空氣，降低水分；
要求極限真空度10Pa,采用的設備是抽真空補氣裝置（抽真空補氣小車）或者直接是SF6回收裝置進行抽真空操作，該設備配置的主要技術參數是：
1、 極限真空度
2、 抽速
KSCZ-16 抽真空補氣裝置
對于高壓和超高壓設備，為降低柜體內微水量，可采用繼續(xù)保壓6-10小時繼續(xù)抽真空，來降低微水值；
KSLH-12Q/15/350 SF6回收凈化裝置
第二步：N2干燥
通過反復充入干燥N2進行干燥，并通過測試微水是否合格；
N2充氣管路
第三步：
充氣，充入SF6氣體，一般該過程可直接采用整罐的SF6純氣，通過減壓閥設定進行充氣；也可以通過SF6抽真空小車或SF6回收裝置進行充氣；
第四步：測量柜體內SF6純度和微水
一般SF6純氣灌入柜體后，要靜置數小時，然后進行微水和純度檢測；
檢測工具：微水儀和純度儀
對于SF6純度應不低于99.9%，微水值一般不大于150PPM.但是對于SF6斷路器和其他部件，有不同的規(guī)定，企業(yè)也可制定相應的企業(yè)標準；
對于微水不合格柜體，應進行SF6回收和重新干燥和再次充氣；
KST-型智能微水儀
第五步：檢漏（密封試驗）
密封試驗是通過檢測SF6氣體的泄漏量，來判定氣室的年漏氣率是否合格，控制標準是每一獨立氣室的年漏氣率不大于0.5％；《電氣設備交接試驗標準》條文說明中提出兩種試驗方法和控制標準：
1、采用靈敏度不低于l×10-6（體積比）的檢漏儀對氣室密封部分、管道接頭等處進行檢測時SF6檢漏儀未發(fā)生報警認為合格。
使用LF-300 SF6定量檢漏儀進行接觸法檢漏
2、采用局部包扎法，待24h后檢測每個包扎腔內 SF6含量不大于30 ppm（體積比）即為合格。
目前采用第二種試驗方法較為準確，其實施程序是：抽真空檢驗SF6氣體泄漏檢驗。具體過程為：在GIS經真空檢漏并靜止SF6氣體5 h后，用塑料薄膜在法蘭接口等處包扎，再過24h后進行檢測，如果有一處薄膜內SF6氣體的濃度大于30 ppm，則該氣室漏氣率不合格。如果所有包扎薄膜內SF6氣體的濃度均小于30ppm，則認為該氣室漏氣率合格。
局部包扎法檢漏
整體包扎法
《電力設備交接和預防性實驗規(guī)程》國家電網公司
DL/T596 GB 50150-2006
密封試驗的注意事項：
1、保持生產環(huán)境的干凈
如果生產環(huán)境的sf6氣體濃度高于或等于我們合格的警示線，如何判斷？
保持檢測現場環(huán)境干凈，非常重要，一般要低于1PPM;
如何保持環(huán)境要求：車間底部通風，強制排風；
不在測試車間進體灌裝;
3、 選擇合適的檢漏儀器
建議推薦高靈敏度、高重復性、高穩(wěn)定性，使用維護成本低，性價比的SF6定量檢漏儀推薦LF-1D+
漏氣量的計算:
G=(k/Δt)*v*ρ*t (克) (1)
式中:k=測得的濃度值(體積比);
V=測試體積(升),等于罩子體積減去被測部分對象的體積,即v=v罩-v被測對象
要注意這個v被測對象,,在部分包扎時,這個被測對象僅是被包扎部分體積;
ρ=sf6的密度(6.14克/升) (2)
t=被測對象的工作時間(小時),如 求一年之中的漏氣量,則t=365*24=8760小時
Δt=測量的間隔時間,如包扎后24小時進行檢測,則Δt=24小時
漏氣率的計算
M=(g/Q)*100/%
式中Q=設備或者容器中充入的sf6氣體的總重量(克)
例:測量一組110千伏sf6組合電器出線回路的漏率
已知:罩子容積V罩=29.0m3 出線回路體積V被測對象=6.5 m3, 充入sf6氣體120Kg
Δt=3.5小時, ρ=sf6的密度(6.14克/升) 被測的濃度k=2*10-5
求年漏率M
解:V= V罩=29.0m3-6.5 m3=22.5 m3=22500升,代入(1)
g=(2*10-5*22500*6.14*24*365)/3.5=6915克
由(2)式得:
M=6915/(120*1000)*=5.76%
第六步：SF6回收
在密封試驗或微水測試不合格等情況下，必須將SF6回收處理，不得進行自然排放；
回收使用設備：SF6回收裝置
回收裝置選用主要考慮采用液態(tài)儲存和回收速度、儲存容量；
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