產(chǎn)品簡介
OWT-200采用PHYS獨(dú)有技術(shù)，對透明、半透明、不透明幾乎所有的材料的厚度，TTV，LTV,彎曲度，平整
度進(jìn)行無接觸測量，其對透明、半透明材料的高精度測量的性價(jià)比在同類測試儀器中是無可比擬的。
特征
無接觸無損傷測量
高度及重復(fù)性
測量材料范圍廣，透明、半透明、不透明幾乎所有材料的
厚度/彎曲度/平整度/LTV/TTV
抗干擾強(qiáng)，穩(wěn)定性好
強(qiáng)大的工控機(jī)控制和大屏幕顯示
一體化設(shè)計(jì)操作更方便，系統(tǒng)穩(wěn)定
為晶圓硅片關(guān)鍵生產(chǎn)工藝提供的無接觸測量
超高測試速度
技術(shù)指標(biāo)
測試尺寸：50mm-200mm.
厚度測試范圍：1000 um，可擴(kuò)展到1700 um
厚度測試精度：+/-0.1um
厚度重復(fù)性精度：0.050um
TTV 測試精度: +/-0.1um
TTV重復(fù)性精度: 0.01um
Warp/Bow精度: 0.2um
Warp/Bow重復(fù)度: 0.5um
測量時(shí)間: 材料：透明、半透明、不透明幾乎所有的材料
尺寸: 560X650X400mm
電源：220V 50HZ 300W
主要客戶：歐洲、美洲、臺灣等地區(qū)藍(lán)寶石生產(chǎn)企業(yè)
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北京合能陽光新能源技術(shù)有限公司
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聯(lián)系人：肖經(jīng)理
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